製品情報

微量還元性ガス分析計 TRA-1は、還元性ガスの還元反応を利用して、ガスクロ法により微量の還元性ガス成分を高感度に検出する分析計です。
ppbレベルのH2やCO濃度を分離検出しますので、高純度ガス製造の品質管理や大気中のH2やCOのバックグランド濃度測定にご利用頂けます。

特長

• H2、CO の ppb レベルの測定が可能。
• 自動サンプリングバルブ内蔵で試料前処理装置との連動および自動測定が可能。
• プレカット機能内蔵で、カラム劣化が少なく、長時間の連続運転が可能。
• 半導体製造工場向け超高純度ガスの品質管理に最適。